eBGDAEBHarm.1=10514212324430(12)4123250(0)(4)61232Harm.70(12)83531310Harm.93532320101232110(12)121232130(0)(4)141232Harm.150(12)16353131017353232018=1226419203x=12221=12222=12223243x=12225=12226=2004427282930=20031323334=20035363738=20039404142=20043444546=20047484950=14051525354=1405556575856759755560=14072614262=1405676375556472654266=20067686970=20071727374=10575=1226476773x=12278=12279=12280813x=12282=12283=2004484858687=20088899091=20092939495=20096979899=200100101102103=200104105106107=200108109110