eBGDAEHarm.1=1601212442712312741212Harm.51212671271278121291011121314151617181920212223242526272829303132333435363738394041424344454647484950515253545556575859606162Harm.6312126471265127661212Harm.67121268712691277012127172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120