eBGDAE1=122442C302020202G3Fin fig 1330023003 Fig 1Em0022022222022022204C302020202G3Fin fig 1330023005 Fig 1Em0022022222022022206C302020202G3Fin fig 1330023007 Fig 1Em0022022222022022208C302020202G3Fin fig 1330023009 Fig 1Em00220222220220222010C302020202G3Fin fig 13300230011 Fig 1Em00220222220220222012C302020202G3Fin fig 13300230013 Fig 1Em00220222220220222014C302020202G3Fin fig 13300230015 Fig 1Em00220222220220222016C302020202G3Fin fig 13300230017 Fig 1Em00220222220220222018C302020202G3Fin fig 13300230019 Fig 1Em00220222220220222020C302020202G3Fin fig 1330020.3930021 Fig2D32002020232022222200202022022223C102332323210031001001001203120120120241303130130130120312012001200100 Fin fig 2C102325 Fig 1Em00220222220220222026C302020202G3Fin fig 13300230027 Fig 1Em00220222220220222028C302020202G3Fin fig 13300230029 Fig 1Em00220222220220222030C302020202G3Fin fig 13300230031 Fig 1Em00220222220220222032C302020202G3Fin fig 13300230033 Fig 1Em00220222220220222034C302020202G3Fin fig 13300230035 Fig 1Em00220222220220222036C302020202G3Fin fig 1330021.1130037 Fig2D32002020232022238200202022022239C102332323210031001001001203120120120401303130130130120312012001201.200100 Fin fig 2C102341Em00002202C000102302D2322320202042Em00002202C555555355D7777775777743Em00002202C555555355D7777775777744Em00002202C555555355D7777775777745 Fig 1Em00220222220220222046C302020202G3Fin fig 13300230047 Fig 1Em00220222220220222048C302020202G3Fin fig 13300230049 Fig 1Em00220222220220222050C302020202G3Fin fig 13300230051 Fig 1Em00220222220220222052C302020202G3Fin fig 13300230053 Fig 1Em00220222220220222054C302020202G3Fin fig 13300230055 Fig 1Em00220222220220222056C30201.5320202G3Fin fig 13300230057 Fig2D32002020232022258200202022022259C102332323210031001001001203120120120601303130130130120312012001202.000100 Fin fig 2C102361Em00002202C555555355D7777775777762Em00002202C555555355D7777775777763Em00002202C555555355D7777775777764Em00002202C555555355D7777775777765Em00002202C555555355D7777775777766Em00002202C555555355D7777775777767Em00002202C555555355D7777775777768Em00002202C555555355D7777775777769Em000227000022000227100022727374